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Fotric 226红外热像仪应用于TCO薄膜通电测试

时间:2022-09-26 17:16:12

  一、背景概述

  TCO 薄膜是一类特殊材料和工艺的镀膜,它主要应用于平板显示器和建筑两大领域。与其他类型的导电薄膜相比,氧化物透明导电膜不仅导电性好,而且还像玻璃一样具有高的透明性,所以,可以把它看作一种用途十分广泛的特征功能薄膜。这种氧化物透明导电薄膜用途十分广泛,它的主要用途有:

  1. 显示器件中的电极材料。

  2. 防静电,防电磁屏蔽层。为了防止静电,必须使方阻小于 109Ω。

  3. 面发热体。SnO2 薄膜的电热转换效率在 90%以上,通电后立即产生热效应。

  4. 热反射膜。SnO2 和 ITO 薄膜在红外部分的反射率可达到 80%以上。

  5. 太阳能电池。(1) SIS 异质结太阳能电池;(2) 太阳能电池的减反射膜。

  6. 薄膜电阻器。

  7. 气敏传感器。现已能探测甲烷,CO、CO2、H2、H2S、乙醇等多种气体和烟尘。

  8. 终端设备。用透明导电薄膜制作薄膜开关。

  9. 汽车玻璃。

Fotric 226热像仪应用于TCO薄膜通电测试

  用 Fotric 226-2 套装进行测试(配备 50μm 微距镜头)

  TCO薄膜的主要技术指标有光谱透过率、导电性能、雾度以及激光刻蚀性能。其中,在薄膜电池的制作过程中,需要将表面划分成多个长条状的电池组,这些电池组被串联起来用以提高输出能效。因此,TCO 玻璃在镀半导体膜之前,必须要对表面的导电膜进行刻划,被刻蚀掉的部分必须完全除去氧化物导电膜层,以保持绝缘。刻蚀方法目前有化学刻蚀和激光刻蚀两种,但由于刻蚀的线条要求很细,一般为几十微米的宽度,而激光刻蚀具有沟槽均匀,剔除干净,生产效率快的特点。

  二、客户需要解决什么问题

  研发人员需要验证这类薄膜的印刷质量和刻蚀工艺

Fotric 226热像仪应用于TCO薄膜通电测试

  是否存在断裂、粘连等问题

  其中白框内两线间距为 50 微米

  三、当前有哪些解决方案及其弊端

  对 TCO 薄膜通电,测试刻蚀质量。采用测试温度的方式测量,如果出现粘连或断裂会出现不同的温度变化。

  热电偶与数采使用热电偶测温准确,但是由于电池组较细,而且间距只有 50 微米宽,没有办法很好的粘贴;

  热线偶可能会导致通电时电路;

  只能测量点或几个点的温度,没有办法找到整个薄膜上刻蚀的线断裂部位或短路部位;

  破坏了器件本身的热场分布,尤其是小尺寸元器件;

  热电偶有温度惯性,采集的温度和实际温度有滞后;

Fotric 226热像仪应用于TCO薄膜通电测试

  红外测温枪

  红外测温枪使用方便,但问题也很多:

  没有办法精确找到测量的部位,不能同时测试多个点;

  不能直观看到问题点;

  被测部位很小,温度会被平均;

Fotric 226热像仪应用于TCO薄膜通电测试

  四、Fotric 产品如何帮助客户解决该问题及优势

  对 TCO 薄膜通电,然后采用 Fotric 226 搭配 50 微米微距镜观看温度变化,如果出现粘连可以看到高温点,如果出现断裂会有线路温度较低。

Fotric 226热像仪应用于TCO薄膜通电测试

  Fotric 226 三合一热像仪单张热像图即采集 110592 个温度值,可以直观看到问题点,高效率无盲区的查找问题。

  Fotric 226 热像仪可连接电脑,配合 AnalyzIR 专业软件变身为在线热像仪,而且搭配 Fotric B1 实验台测温更稳定。

Fotric 226热像仪应用于TCO薄膜通电测试

  五、配置方案

  Fotric 226 三合一热像仪,配 M50-226 微距镜和 B1 研发测试台。

  六、哪些客户需要解决该问题

  薄膜印刷厂

  电路印刷等

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